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    日本EHC 自動轉印顯影機ACT-300A2

    產品時間:2022-05-05
    日本EHC 自動轉印顯影機ACT-300A2
    緊湊型自動轉印顯影機。
    ACT-300A2S自動轉印型顯影機在旋轉6英寸以下的基材時進行噴霧顯影。
    它配備了兩套顯影液系統、一套沖洗系統和一把氣刀,配方設置操作可通過觸摸屏進行,可實現多達25種基質的自動顯影。

    日本EHC 自動轉印顯影機ACT-300A2

    緊湊型自動轉印顯影機。

    ACT-300A2S自動轉印型顯影機在旋轉6英寸以下的基材時進行噴霧顯影。

    它配備了兩套顯影液系統、一套沖洗系統和一把氣刀,配方設置操作可通過觸摸屏進行,可實現多達25種基質的自動顯影。

    也可提供無自動處理的單晶片類型。

    日本EHC 自動轉印顯影機ACT-300A2

    主要規格。

    處理能力:可連續處理25張6英寸以下的圓形基材。

    流程:顯影劑:2個系統,漂洗:1個系統,氣刀:1個系統?!?/p>

    使用的化學品:堿性顯影劑,去離子清洗水。

    處理能力 多達25個6英寸的圓形基片(專用盒式存儲型)。

    過程開發者2系統(噴嘴可互換)。

            1個漂洗系統 1個氣刀系統

    使用的化學品 堿性顯影劑 去離子清洗水

    轉移機器人Tatsumo定心臺,用于準確定位基片。

    可以注冊10個步驟x50個模式的食譜。

    以0.1秒為增量的處理時間設置

    板速交流伺服電機控制的 0-3000 rpm 精度±2 轉速以內

    設備尺寸 W1120 x D920 x 高1950毫米,zui大50 0公斤或以下

    控制系統8英寸觸摸面板操作

    吸水臺 白色特氟隆,真空孔吸水式

    罐體容量為18L,與機體分離,通過稱重傳感器檢測殘余液位。

    顯影液控制溫度20-30°C ± 3°C

    公用事業 3相200V/30A 1個漏電斷路器

    內置真空泵

    空氣0.5兆帕

    氮氣 0.3 MPa

    排氣管 2個排氣系統(電動排氣管、杯式排氣管),?75 mm

    顯影液廢液    收集在聚乙烯罐中或與工廠廢物相連





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