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    日本EHC VD-400減壓室

    產品時間:2022-05-05
    日本EHC VD-400減壓室
    一個減壓的干燥系統,帶有觸摸面板控制的配方操作。
    VD-400是一個減壓室,用于在抗蝕劑應用后對玻璃基材進行涂層。
    該設備用于減壓干燥。

    日本EHC VD-400減壓室

    一個減壓的干燥系統,帶有觸摸面板控制的配方操作。

    VD-400是一個減壓室,用于在抗蝕劑應用后對玻璃基材進行涂層。

    該設備用于減壓干燥。

    VD-400減壓室特點。

    通過觸摸面板控制簡化操作。

    可進行配方操作(允許復制操作程序)。

    兩級排風減少了風的波紋和氣泡。

    蝶形閥的使用使真空排氣量得以設定。

    日本EHC VD-400減壓室

    主要規格。

    外部尺寸400毫米×400毫米,高度103毫米(蓋子關閉時)。

            內部尺寸350毫米x350毫米,高度30毫米

    ○ 真空:可實現的真空度約為1Pa或更低(無負載時)。

    規格。

    0室:外部尺寸400mm x 400mm,高度103mm(蓋子關閉時)。

          內部尺寸350毫米x350毫米,高度30毫米

    0 真空系統:可實現的真空度:1帕或更低(不含樣品)

         干式泵250升/分鐘

    達到設定壓力時,自動釋放到大氣中。

          時間模式 在設定的減壓時間后自動釋放大氣。

    0 實用:3Φ AC200:干燥空氣 0.4-0.6 MPa:真空抽氣

    z 外部尺寸:(寬)1000 x(長)800 mm x(高)1600 mm

    0 設備重量:約250公斤




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